真空高温烤箱加热之前抽真空是为了抽去工件原料中的气体成分。如果没有进行抽真空就进行加热工件，气体就会随着温度升高而胀大。因为烘箱的密封性非常的好，胀大的气体所发生的无穷压力会导致观察窗钢化玻璃爆裂，对洁净烘箱和操作人员都会造成伤害，这是一个潜在的危险。所以要先将烘箱抽成真空在进行加热，才能避免这种风险。

    假如真空高温烤箱先升温加热，然后在进行抽真空的程序操作，就会导致洁净烘箱的真空泵温度过高，降低真空泵的功率，并且对产品的性能造成一定的损坏。因为，当真空泵抽出加热的空气的时候，烘箱内的一部分热量会随着被抽出的加热空气而带到真空泵上去，此时就会导致真空泵温度过高，从而对烘箱造成损坏。所以在烘箱之前一定要先抽真空，才能减少对真空烘箱的伤害。大家在使用烘箱之前先进行抽真空操作，只有这样才能使真空压力表的数据准确，并且超净室产品本身也起到了保护的作用。

    真空烤箱的工作环境是在负压下，氧的含量比较少，所以能够减少，甚至是阻止出现氧化反应。负压下的容积可以大幅度降低沸点，从而有效的避免了因为高温干燥导致物料品质出现损坏。假如容积是一种有毒有害的物质，或者是价值非常大的气体，那么使用高温真空烘箱可以达到冷凝回收的效果，可以降低危险，也能够提供回收利用率。